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小型真空メタル炉
FDBシリーズ

コンパクト設計で低価格を実現
■特徴

・ 二重壁水冷ジャケットと炉体・制御盤一体構造によるコンパクト設計
・ メタル製ヒーター及びヒートシールド使用による急速加熱・急速冷却が可能
・ コンタミが少なくクリーンな雰囲気をキープ
・ 高真空(10−5Pa)対応が可能
■カスタマイズ仕様

・ 高真空(10−5Pa)仕様
・ ターボ分子ポンプ仕様
・ 全自動化による無人運転
・ チラーユニットの追加
・ 安全回路のアップグレード
・ インナーケースの追加



小型真空メタル炉外観

■用途

・ 半導体、化学
  セラミックス部品の焼成
・ 液晶
  液晶ガラス(大型ディスプレー用)硬化処理
・ ナノテクノロジー関連
  ナノ材料(炭素材、他)の焼成
・ IT
  石英レンズ、レーザー用部品の焼成
・ 自動車
  セラミックス、新素材の焼成
・ 鉄鋼
  金属、セラミックス、複合材の焼成
・ ガラス、セメント
  ガラス、新素材の焼成
■主な仕様

型式 FDB 14×14×17
炉内寸法 140W×140H×170L
使用温度 1800℃(MAX)
雰囲気 真空、不活性ガス(N2 , Ar , He,)、水素(温度条件あり)
圧力 ×10-3Pa, 0.014Mpa(常温時)
ヒーター モリブデン(Mo)/タングステン(W)
(単位mm)


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本社
白河工場     
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