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真空・雰囲気炉
FDシリーズ

急速加熱・冷却が可能
■特徴

・ メタル製ヒーター及びヒートシールド使用による急速加熱・急速冷却が可能
・ コンタミが少なくクリーンな雰囲気をキープ
・ 高真空(10−5Pa)対応が可能
・ 二重壁水冷ジャケット使用によりコンパクト設計
・ 実験用から生産用まで対応
■カスタマイズ仕様

・ 炉内サイズのカスタマイズ可能
・ 2300℃(MAX)仕様
・ 高真空(10−5Pa)仕様
・ ターボ分子ポンプ仕様
・ 脱脂機能追加
・ グローブボックスとのジョイント
・ 全自動化による無人運転
・ チラーユニットの追加
・ 安全回路のアップグレード
・ 専用ハンドリフター
・ インナーケースの追加


小型真空・雰囲気炉
小型タイプの真空雰囲気炉外観


真空・雰囲気炉
標準タイプの真空雰囲気炉外観


大型・真空雰囲気炉
大型タイプの真空雰囲気炉外観

■用途

・ 半導体、化学
  セラミックス部品の焼成
・ 液晶
  液晶ガラス(大型ディスプレー用)硬化処理
・ ナノテクノロジー関連
  ナノ材料(炭素材、他)の焼成
・ IT
  石英レンズ、レーザー用部品の焼成
・ 自動車
  セラミックス、新素材の焼成
・ 鉄鋼
  金属、セラミックス、複合材の焼成
・ ガラス、セメント
  ガラス、新素材の焼成
■主な仕様

型式 FD 20×20×20 FD 30×30×30 FD 40×40×40
炉内寸法 200W×200H×200L 300W×300H×300L 400W×400H×400L
使用温度 1800℃(MAX)/2300℃(MAX)
雰囲気 真空、不活性ガス(N2 , Ar , He,)
圧力 ×10-3Pa, 0.014Mpa(常温時)
ヒーター モリブデン(Mo)(MAX1800℃)/タングステン(W)(MAX2300℃)
(単位mm)

型式 FD 50×50×50 FD 60×60×60 FD 70×70×70
炉内寸法 500W×500H×500L 600W×600H×600L 700W×700H×700L
使用温度 1800℃(MAX)/2300℃(MAX)
雰囲気 真空、不活性ガス(N2 , Ar , He,)
圧力 ×10-3Pa, 0.014Mpa(常温時)
ヒーター モリブデン(Mo)(MAX1800℃)/タングステン(W)(MAX2300℃)
(単位mm)

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