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真空・雰囲気炉
ＦＤシリーズ
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| 急速加熱・冷却が可能 |
■特徴
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・ メタル製ヒーター及びヒートシールド使用による急速加熱・急速冷却が可能
・ コンタミが少なくクリーンな雰囲気をキープ
・ 高真空（１０−５Ｐａ）対応が可能
・ 二重壁水冷ジャケット使用によりコンパクト設計
・ 実験用から生産用まで対応
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■カスタマイズ仕様
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・ 炉内サイズのカスタマイズ可能
・ 2300℃(MAX)仕様
・ 高真空（１０−５Ｐａ）仕様
・ ターボ分子ポンプ仕様
・ 脱脂機能追加
・ グローブボックスとのジョイント
・ 全自動化による無人運転
・ チラーユニットの追加
・ 安全回路のアップグレード
・ 専用ハンドリフター
・ インナーケースの追加
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小型タイプの真空雰囲気炉外観
標準タイプの真空雰囲気炉外観
大型タイプの真空雰囲気炉外観
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■用途
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・ 半導体、化学
セラミックス部品の焼成
・ 液晶
液晶ガラス（大型ディスプレー用）硬化処理
・ ナノテクノロジー関連
ナノ材料（炭素材、他）の焼成
・ IT
石英レンズ、レーザー用部品の焼成
・ 自動車
セラミックス、新素材の焼成
・ 鉄鋼
金属、セラミックス、複合材の焼成
・ ガラス、セメント
ガラス、新素材の焼成
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■主な仕様
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| 型式 |
FD 20×20×20 |
FD 30×30×30 |
FD 40×40×40 |
| 炉内寸法 |
200W×200H×200L |
300W×300H×300L |
400W×400H×400L |
| 使用温度 |
1800℃（MAX）／2300℃（MAX） |
| 雰囲気 |
真空、不活性ガス（N2 , Ar , He,） |
| 圧力 |
×10-3Pa, 0.014Mpa（常温時） |
| ヒーター |
モリブデン(Mo)(MAX1800℃)／タングステン(W)(MAX2300℃) |
（単位mm）
| 型式 |
FD 50×50×50 |
FD 60×60×60 |
FD 70×70×70 |
| 炉内寸法 |
500W×500H×500L |
600W×600H×600L |
700W×700H×700L |
| 使用温度 |
1800℃（MAX）／2300℃（MAX） |
| 雰囲気 |
真空、不活性ガス（N2 , Ar , He,） |
| 圧力 |
×10-3Pa, 0.014Mpa（常温時） |
| ヒーター |
モリブデン(Mo)(MAX1800℃)／タングステン(W)(MAX2300℃) |
（単位mm）
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| お問い合わせ |
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