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真空・水素雰囲気炉
ＦＤ-Hシリーズ
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| 還元を自在にコントロール |
■特徴
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・ 各種インターロック機能による万全な安全対策設計
・ 水素の還元（ドライ／ウェット）を自在にコントロール ＊カスタマイズ仕様
・ メタル構造のため、急速加熱・急速冷却が可能
・ コンタミが少なく、クリーンな炉内雰囲気をキープ
・ 高真空仕様（10−5）へのカスタマイズが可能
・ 実験用から生産用まで対応
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■カスタマイズ仕様
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・ 炉内サイズのカスタマイズ
・ 2300℃(MAX)仕様
・ 高真空(10−5)仕様
・ ターボ分子ポンプ仕様
・ 脱脂機能追加
・ グローブボックスとのジョイント
・ 全自動化による無人運転
・ チラーユニットの追加
・ 安全回路のアップグレード
・ 専用ハンドリフター
・ 露点制御機能（ウェット水素）
・ インナーケースの追加
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真空・水素雰囲気炉外観（ウェット／ドライ水素雰囲気炉仕様）
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■用途
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・ 自動車、ガス
燃料電池用部品（セラミックス）の焼成
・ 半導体、ランプ、鉄鋼、セメント、他
透光セラミックス、セラミックス部品、二酸化ウランペレット用、新素材等の焼成、焼結
・ MIM
MIM製品の脱脂焼成
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■主な仕様
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| 型式 |
FD 20×20×20 H |
FD 30×30×30 H |
FD 40×40×40 H |
| 炉内寸法 |
200W×200H×200L |
300W×300H×300L |
400W×400H×400L |
| 使用温度 |
1,800℃（MAX）／2300℃（MAX） |
| 雰囲気 |
真空、不活性ガス（N2 , Ar , He,）、水素 |
| 水素濃度計 |
1%vol 以下 |
| 真空度 |
×10-3Pa, 0.014Mpa（常温時） |
| ヒーター |
モリブデン(Mo)(MAX1800℃)／タングステン(W)(MAX2300℃) |
ヒート
シールド |
モリブデン(Mo)／タングステン(W)組み合わせ構造 |
（単位mm）
| 型式 |
FD 50×50×50 H |
FD 60×60×60 H |
FD 70×70×70 H |
| 炉内寸法 |
500W×500H×500L |
600W×600H×600L |
700W×700H×700L |
| 使用温度 |
1,800℃（MAX）／2300℃（MAX） |
| 雰囲気 |
真空、不活性ガス（N2 , Ar , He,）、水素 |
| 水素濃度計 |
1%vol 以下 |
| 真空度 |
×10-3Pa, 0.014Mpa（常温時） |
| ヒーター |
モリブデン(Mo)(MAX1800℃)／タングステン(W)(MAX2300℃) |
ヒート
シールド |
モリブデン(Mo)／タングステン(W)組み合わせ構造 |
（単位mm）
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