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加圧高温雰囲気炉
SCOシリーズ

試料品質重視の焼成スタイル
■特徴

・ 1700℃まで使用可能
・ 温度分布が±5℃(1700℃)の優れた均熱性
・ 各種ガス雰囲気での使用可能
・ 雰囲気ガス圧 : Max0.99MPa(9.9kg/cm2
・ シンプルデザインで操作性抜群
■カスタマイズ仕様

・ 脱脂機能を追加し脱脂・焼成炉へ機能アップ
・ 排ガス処理装置の追加


加圧高温雰囲気炉
加圧高温雰囲気炉外観


■用途

・ 半導体、化学、鉄鋼、他
  高密度の新素材及びセラミックスの加熱・加圧成形
■主な仕様

型式 SCO 15×15×20 SCO 20×20×20 SCO 40×40×40
炉内寸法 150W×150H×200L 200W×200H×200L 400W×400W×400L
使用温度 1700℃(MAX)
雰囲気 大気、酸素、不活性ガス(N2、Ar、He)
圧力 Vacuum〜0.99Mpa(9.9kg/cm2)
ヒーター 二珪化モリブデン(MoSi2)
(単位mm)

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本社
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