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急冷機構付真空熱処理炉


熱処理炉と急冷室の直結タイプ
■特徴

・ 熱処理炉内から急冷室へ落とし込む2室型真空・雰囲気炉
・ 熱処理炉内と冷却室の独立真空置換が可能
・ エア駆動式の手動ゲート(仕切弁)を採用
・ 不活性ガス(N2 , Ar)吹付けによる急冷処理
・ 衝撃緩和機構を急冷室内へ設置
■カスタマイズ仕様

・ 炉内サイズのカスタマイズ可能
・ チラーユニットの追加
・ 安全回路のアップグレード



急冷機構付真空熱処理炉外観



熱処理炉下部に位置する急冷室の外観


■用途

・ 半導体、鉄鋼、非鉄金属、石油化学、他
  金属材料、新素材の熱処理・急冷処理
■主な仕様

型式 FD 30×20×30SP
炉内寸法 330W×220H×330L
使用温度 1500℃(MAX)
雰囲気 真空、不活性ガス(N2 , Ar)
真空度 熱処理炉内:×10-3Pa, 0.014Mpa(常温時)
冷却処理室:×10 Pa, 0.014Mpa(常温時)
ヒーター カーボングラファイト/モリブデン(Mo)/タングステン(W)
(単位mm)

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本社
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