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急冷機構付真空熱処理炉
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| 熱処理炉と急冷室の直結タイプ |
■特徴
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・ 熱処理炉内から急冷室へ落とし込む２室型真空・雰囲気炉
・ 熱処理炉内と冷却室の独立真空置換が可能
・ エア駆動式の手動ゲート（仕切弁）を採用
・ 不活性ガス（N2 , Ar）吹付けによる急冷処理
・ 衝撃緩和機構を急冷室内へ設置 |
■カスタマイズ仕様
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・ 炉内サイズのカスタマイズ可能
・ チラーユニットの追加
・ 安全回路のアップグレード
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急冷機構付真空熱処理炉外観
熱処理炉下部に位置する急冷室の外観
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■用途
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・ 半導体、鉄鋼、非鉄金属、石油化学、他
金属材料、新素材の熱処理・急冷処理
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■主な仕様
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| 型式 |
FD 30×20×30SP |
| 炉内寸法 |
330W×220H×330L |
| 使用温度 |
1500℃（MAX） |
| 雰囲気 |
真空、不活性ガス（N2 , Ar） |
| 真空度 |
熱処理炉内：×10-3Pa, 0.014Mpa（常温時）
冷却処理室：×10 １Pa, 0.014Mpa（常温時） |
| ヒーター |
カーボングラファイト／モリブデン(Mo)／タングステン(W) |
（単位mm）
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| お問い合わせ |
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